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微流控缺陷檢測

簡要描述:微流控缺陷檢測 nSpec Macro可以照亮樣品的整個面,或設置照明角度和/或離散照明矢量。 明場,暗場,正交和可配置的傾斜照明角度與可單獨配置的LED,配合使用可調節照明的強度,顏色和位置。

  • 產品型號:nSpec Macro
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2021-01-24
  • 訪  問  量: 1605

詳細介紹

 微流控缺陷檢測產品簡介
       1、nSpec Macro是一種快速自動晶圓宏觀檢測儀,無論您有多特殊的晶圓檢查要求,我們都能提供一系列解決方案來讓您獲得快速的結果。這種緊湊的系統設計用于對200 mm以下的晶圓進行高通量宏觀檢查。 以毫米為單位,nSpec Macro可以自動檢測并量化從50到100微米的眾多缺陷,這取決于視場或晶圓尺寸。
       2、nSpec Macro可以照亮樣品的整個面,或設置照明角度和/或離散照明矢量。 明場,暗場,正交和可配置的傾斜照明角度與可單獨配置的LED,配合使用可調節照明的強度,顏色和位置。
       3、該系統會自動導出CSV文件,并且與SECS / GEM兼容,也可以根據客戶要求進行定制。

自動化晶圓處理功能

       所有Nanotronicsn Spec Macros都裝有滿足行業標準要求的晶圓裝載機。Nanotronics創造了末端執行器,可將整個單個晶圓和/或帶有的晶圓加載進去。每個末端執行器都是根據客戶的需求設計的。
 
光學特性
        暗場照明模式照明角度:0度
        傾斜照明模式照明角度:0至80度
        明場照明模式照明角度:90度
        正交照明模式照明角度:90度(通過鏡頭)
 
晶圓裝載機
        一次運行1個卡夾:標準H型卡夾
        標準晶圓尺寸:50、75、100、150或200mm
 
控制軟件
       配方易于配置,并可以根據需要保存。可以按順序進行多次掃描,并且在照射角度,強度和波長方面具有完全的靈活性。 
 
系統參數
        重量:62kg
        尺寸(寬x深x高):67厘米 x 74厘米 x 65厘米
        蕞小真空要求:20 in.Hg
        電源:110v / 220v,3.5安培
 
 

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