双色球论坛,双色球论坛app首页,双色球论坛欢迎

歡迎來到岱美儀器技術服務(上海)有限公司網站!
咨詢熱線

13917837832

當前位置:首頁  >  產品中心  >  多波段橢偏儀  >  FilmSense 橢偏儀  >  FS-1FilmSense多波段橢偏儀

FilmSense多波段橢偏儀

簡要描述:FilmSense 橢偏儀 FS-1 可通過橢偏參數、 透射/反射率等參數的測量,快速實現光學參數薄膜和納米結構的表征分析,適用于薄膜材料的快速測量表征.

  • 產品型號:FS-1
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2020-12-13
  • 訪  問  量: 4120

詳細介紹

  FilmSense 橢偏儀 FS-1介紹
 
  創新的
 
  FilmSense FS-1多波長橢偏儀使用長壽命LED光源設計,使用壽命大于5000小時,同時FS-1的設計結構沒有轉動部件以確保設備的穩定性。總的來講,FS-1是一臺簡單易用的緊湊型設計的橢偏儀但它能提供快速、可靠的薄膜測量。
 
  強大的
 
  大多數透明薄膜的膜厚度從0-1000nm都可以測量,FS-1提供不錯的準確度與良好的穩定性,而且在1秒時間內就可以得到測量結果,同時光學常數n和k和其他性能也可以測量。
 
  負擔得起的
 
  FS-1是多波長橢偏儀,但用戶可以用相當于單波長橢偏儀或光譜反射儀系統的價格,卻得到多波長橢偏儀的品質。FS-1可用于實驗室研究,教學,在線制程監控,工業品質控制等應用。
 
什么是橢偏儀
 
  橢偏儀是測量樣品反射光偏振態的變化。橢偏測量是由下面的公式量化,是相位差。ρ是反射光的偏振光Rp和偏振光Rs的反射率比。橢偏儀ψ參數是和ρ的大小有關,Δ參數是相位復合比。
 
用橢偏數據來分析確定感興趣的樣品參數,如薄膜厚度和折射率,光學模型等
 
  橢偏儀的優點:
 
  1、橢偏儀是測量比率,所以它對光束強度的變化,或樣品的缺陷引起散射光不敏感的。
 
  2、橢偏儀在每個波長測量2個量(Ψ and Δ),可以確定2個定量比如薄膜厚度,以及光學常數或基底的折射系數和消光系數。
 
  3、橢偏儀對薄膜Δ參數相位差極其敏感,能夠準確的測量薄膜厚度低至0Å。
 
  FilmSense 橢偏儀 FS-1主要特點:
 
  1、四種LED光源:藍色(465nm)、綠(525nm),黃色(580nm),紅色(635nm)
 
  2、在沒有運動部件的橢偏儀
 
  3、優異的厚度測量精度,優于0.001nm的樣品(1秒獲得測量結果),甚至適用于亞單原子層膜的厚度
 
  4、集成計算機儀器控制和數據分析,任何電腦,臺式機,手提都可以從web瀏覽器界面獲得數據
 
  優點
 
  1.長壽命(>50000小時),不用頻繁更換昂貴的燈泡,或定時校正或周期維護。
 
  2.快速多次測量(多波長數據在10毫秒)且長期可靠性
 
  3.測量精度只有用橢偏儀才能達到
 
  4.沒有復雜的軟件設置和維護
 
  表現
 
  FS?1測量透明單層膜的厚度和折射率,厚度測量范圍從0到1000nm.經典的FS-1對多種樣品都能提供穩定的測量,包括多層膜。如下表所示。如需有關測量技術和更多細節,請聯系Film Sense并要求我們提供測量報告。
 
  FS-1多波長橢偏儀
 
  多波長的優點
 
  1.*的寬范圍膜厚測量功能,對于透明膜至少可達1μm(無厚度周期性問題)。
 
  2.測量更多的樣品參數,如:表面粗糙度,多膜厚度,折射率色散。
 
  3.提供一致性檢驗數據,分析一個合格?分析模型,該模型適用于四個波長的數據。
 
  *的技術
 
  1.多?波長的橢偏技術
 
  2.光學模型補償的LED帶寬
 
  3.具備光束不對位的補償功能
 
  4.模型驗證功能
 
應用
 
  1、FS – 1是多波長橢偏儀,但用戶可以用相當于單波長橢偏儀或光譜反射儀系統的價格,卻得到多波長橢偏儀的品質。FS -1可用于實驗室研究,教學,在線制程監控,工業品質控制等應用。
 
  2、半導體行業:硅的氧化物和氮化物,高和低k介質、多晶和非晶硅薄膜,光刻膠
 
  3、光學涂覆工業:高、低折射率薄膜如SiO2,TiO2,Ta2O5,MgF2,等。
 
  4、顯示行業:導電層(如ITO),非晶硅薄膜、有機薄膜(OLED技術)
 
  5、數據存儲產業:類金剛石薄膜
 
  6、R&D 工序:薄膜沉積的原位表征(速率和光學常數)對應工藝條件的變化值,適用于MBE、MOCVD、ALD、濺射等。
 
  7、化學和生物:亞-單層材料吸附液體中的細胞實驗檢測
 
  8、工業:在線監測和控制薄膜的厚度
 
  光譜測量(通過光譜橢偏儀或光譜反射)有可能描述單個薄膜表征樣品或2、3層膜結構。FS-1軟件里的模型驗證功能也可以成功確定一個特定的樣本結構。
 
  原位的能力
 
  1.亞原子單層厚度精度
 
  2.在真空環境中,測量多種工藝條件下薄膜光學常數n&k值以及沉積速率
 
  3.監視和控制多層膜結構的沉積
 
  4.FS?API接口為外部軟件控制(LabVIEW兼容)
 
  5.適用于大多數的薄膜沉積技術:濺射,ALD,MBE,MOCVD,電子束蒸發等。
 
原位檢測功能
 
  FS?1是理想的原位實時監測和控制薄膜沉積工藝的設備
 
  1.LED光源和無運動部件檢測器,堅固可靠,快速測量
 
  2.結構緊湊,重量輕的光源和檢測器單元(≈每個1公斤)
 
  3.可選的適配器安裝在標準的2.75?或1.33?的Conflat法蘭(可以在不關閉真空的條件下進行安裝)
 
  4.易于調整平臺傾斜
 
聚焦光束檢測
 
  聚焦光束檢測系統結合了FS-1多波長的橢偏儀的聚焦光學系統和手動轉換平臺。該系統是半導體晶圓圖案的手動檢查和質量控制測量理想的工具。
 
  •小光斑尺寸和相機成像運行
 
  •手動轉換平臺,容納4,5,和6晶圓直徑。
 
  •樣品上的光束大小:0.3×0.7毫米
 
  •視頻觀察樣品上光束位置
 
軟件
 
  FS-1軟件獲得了橢偏數據,并報告樣本參數(厚度、折射率,等等),都源于測量。FS-1軟件運行在電腦里面的FS-1探測器單元,和一個標準的Web瀏覽器提供了軟件的用戶界面。任何臺式機,筆記本電腦,或平板電腦,支持現代Web瀏覽器(Windows,Mac OS X,Linux,iOS,Android)可以使用以太網連接操作的FS1(沒有互聯網和Web訪問的情況 下)。從Web瀏覽器界面通訊主要優點是,無需安裝軟件,從而大大簡化了FS-1的安裝與操作設置。
 
  單一的測量模式使得常規樣品測量如點擊按鈕一樣容易。
 
模型驗證器驗證所有的模型擬合參數將*地收斂在 的范圍內。
 
分析模型的模式提供了強大的功能來分析和可視化 的FS-1橢偏數據。
 
特征
 
  1、常規的樣品檢測,原位多層膜監控,多樣品測量,和軌跡數據分析模式.
 
  2、多達10個模型層,與可選的表面粗糙度,和襯底背面校正分析功能。
 
  3、參數范圍和初增量以提高擬合參數的匹配性.
 
  4、Bruggeman介電常數近似以理論用于混合材料以及分級指標層分析
 
  5、柯西和Sellmeier色散模型。
 
  6、溫度或成分相關的光學常數庫文件。
 
  7、去極化或透射強度數據可以結合多波長數據分析。
 
  8、模擬單一測量或動態數據。
 
關于我們
 
  Film Sense---擁有超過20年行業經驗的橢偏儀制造商。20年如一日的嚴謹,為的是創造出的橢偏儀系統,為廣泛范圍的薄膜應用提供不錯的測量解決方案。

產品咨詢

留言框

  • 產品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7
双色球论坛_双色球论坛app首页_双色球论坛欢迎