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電容式位移傳感器

簡要描述:美國Microsense電容式位移傳感器完全非接觸式電容式微位移測量—準確的電子感應技術, 無損樣品測量。

  • 產品型號:Microsense 5810/6810
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2021-06-09
  • 訪  問  量: 873

詳細介紹

  電容式位移傳感器:非接觸式高分辨率近距離位移測量
 
  美國Microsense公司(前身是ADE Technologies, KLA_TENCOR的子公司)開創了高辨率電容式位移傳感器的先河,致力于為客戶提供以藝術級別性能的高精度非接觸式微位移傳感器。
 
  電容式位移傳感器特性
 
  1.完全非接觸式電容式微位移測量—準確的電子感應技術, 無損樣品測量
 
  2.優化的近距離測量—測量距離在10微米到5毫米
 
  3.高準確性,高靈敏性測量,精度可達0.5nm。
 
  4.可探測任何可傳導性、接地的測量目標—表面是否拋光以及材質對測量準確度無任何影響
 
  5.用途廣泛: 金屬薄片厚度測量,振動測量,工作臺垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)測量,精密馬達轉軸偏振測量(Axial, Radial, Spindle runout),精密儀器工作平臺定  位,設備自動聚焦測量(微影設備,原子力顯微鏡,光罩探測,圖像確認,LCD生產設備…)
 
  4800系列            5800系列6800系列8800系列       6360厚度測量系統
 
  4800系列    以至優化的線性和穩定性著稱, 一款多功能測量設備
 
  5800系列    以高動態測量著稱--高分辨率測量,可達100Khz 帶寬測量,可靠性測量甚至達觸
 
  地物例如氣動轉子和馬達
 
  6800系列    擁有皮米級別噪聲分辨率
 
  8800系列   以擁有*好的線性和穩定性系統著稱,測量帶寬高達20K HZ,納米級分辨率,超低
 
  噪聲上乘的伺服定位反饋系統設計
 
  Mini系列      迷你壓縮型傳感器測量系統
 
  6360系列      非接觸式,高精度測量硅片、CD、DVD、光盤厚度

       圓柱型測量探頭       45°傾角測量探頭      矩型測量探頭          直角型測量探頭
 
  圓柱型測量探頭探頭直徑0.5mm 到5mm 可選
 
  45°傾角測量探頭  可緊貼圓柱形被測物測量
 
  矩型測量探頭  測量馬達及軸向轉動物時可提供*大分辨率
 
  直角型測量探頭用于測量受限空間測量
 
  設備應用
 
定位測量系統應用:遠程位置調節器的伺服反饋系統應用
 
  間距和位移測量應用 :空間測量及檢測  軸向位移測量
 
  轉動測量系統應用:馬達精度和轉軸轉動測量  轉軸測量計精度校準測量  直線和平面平臺精度測量
 
  厚度測量系統應用:磁性介質厚度測量 光盤厚度測量
 
  自動聚焦和歸零測量應用:半導體硅片測量
 
  振動測量系統應用:樣品臺精度振動測量 轉軸振動精度測量 主動性防震系統反饋測量
 
  設備性能及主要參數
 
  1.量程:       ±25µm 到±1000µm滿量程測量
 
  2.分辨率:   優于2 nm (r.m.s.) @ 1 kHz
 
  3.帶寬:  1 kHz, 5 kHz, 20 kHz, 100 kHz 可選
 

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