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微波等離子清洗機與傳統濕法清洗相比有什么特點?

發表時間:2021-07-13  |  點擊率:19
  微波等離子清洗機作為一種綠色無污染的高精密干法清洗方式,可以有效去除表面污染物,避免靜電損傷。簡述了微波等離子清洗機的原理及特點,介紹了設備的構成、清洗工藝和模式,對微波導入和微波源與負載的匹配兩個關鍵技術進行了研究;通過工藝驗證,微波等離子清洗降低了接觸角度,提高了引線鍵合強度。

 

  等離子體是物質存在的一種基本形態(被稱為物質的第四態),是由原子,電子,分子,離子或自由基組合而成,等離子清洗就是通過物理、化學作用對被清洗物表面進行處理,實現去除分子水平污染物的一種工藝過程,同時也可提高其表面活性。

  微波等離子發生原理:
  微波等離子清洗機是由工作頻率為2.45GHz的微波激發工藝氣體放電,在正負極磁場作用下的諧振腔體內產生等離子體,該諧振腔體位于反應倉體旁邊,磁控管連接微波發生器,因為整個放電過程不需要正負電極,所以產生自偏壓極小,從根本上避免了靜電放電損傷。

  清洗特點:
  微波等離子清洗機與傳統濕法清洗相比,不需要使用大量的酸、堿、有機溶劑等,不會給環境帶來任何污染,有利于環保和人員安全,同時該清洗技術的均勻性、重復性和可控性非常好,具有三維處理能力,可以進行方向選擇。微波等離子清洗機與低頻或射頻放電產生的等離子體相比,它的特點是沒有正負電極,自偏壓很小,不會產生放電污染,有效防止靜電損傷;等離子密度高,生產效率高;離子運動沖擊小,不會產生UV(紫外線)輻射,尤其適用于一些敏感電路的制程清洗。

 

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